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真空计检漏灵敏度

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-10-29 20:16:44 * 浏览: 1
上面已经分别描述了热传导真空计方法,电离真空计方法和差示真空计方法,并且它们的灵敏度可以通过共同的表达式来表达。让真空系统有一个泄漏率为q的泄漏孔。当泄漏孔的入口端是大气压空气时,真空计的读数为N。当泄漏孔的入口端进入某种泄漏物质时,真空计的读数为N2。如果q = 0,则真空计读取No。引入系数phi,并将phi称为折叠系数。如果真空系统的抽速为S,则真空计z *可以读取压力变化到ΔpA(对于空气),则z *的泄漏检出率小:如果工作压力为pA,则制作了多个真空计该方法的phi和ΔpA分别列在表13-8和表13.9中,ApA和pA之间的关系示于图13-15中。表13中的仪表板,表8,表13-9和图13-15的使用方法如下所示:如果将氢气用作泄漏气体,则使用单个电离真空计检测泄漏,表13-9显示:垂直--0.4,如果抽速S-10L / s,pA-10-4Pa,从图13-15的曲线(1)可以看出,ApA = 2倍,10-6Pa,使用公式( 13-37)得到的结果与公式(13)-32)的计算结果基本一致。